系統支持高達4095級的灰度、純二進制模式；

系統對準精度最高小于250納米，線寬均勻性小于50納米；

系統最大支持6英寸基版，200毫米/秒掃描速度，150x150毫米曝光面積；

系統采取全封閉結構設計，必需的部件、控制架構和真空泵都在外殼內，便于快速安裝；

系統連接到空氣溫度調節器機組開始供應空調空氣時，內置堆式過濾器將產生干凈的交叉氣流；

系統運動平臺由機械緩振系統支撐，它將過濾掉絕大多數的噪音振動，以確保工作時的振動最小。