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產品簡介

ASML’s PAS 5000/50 stepper with a well proven Zeiss 0.48NA i-line lens with a 21.1mm image field diameter. The PAS 5000/50 stepper has been designed for 0.5micron production resolutions using a “process in-depended” alignment system, for a superior production overlay. Systems is available as fully refurbished.

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ASML PAS5000/50 i-line晶片步進器的主要參數：

Lens resolution 0.5 micron i-line (365nm)
Reduction 5X
Field size 21.2 mm dia ( Xmax= 15mm, Ymax= 19mm )
UDOF 1.2 micron ( Slope > 83 degrees )
Uniformity ± 2.5%
Intensity 280 mW/c㎡
Reticles 6 (5”), automatic exchange and masking
Wafers 100, 125, 150 mm

產品其它參數

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