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零配件

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Spare Parts
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OPM 新備件

OPM optics: improve intensity and CD uniformity

For DUV (include PAS and AT system)

Lens A,B,C, bending point mirror, entrance window

For I-line

Interference filter; UV-WG filter
New SWS flexcable for scanner (phase 2 and phase 3)
New wafer table clean tool
Stepper / aligner wafer table

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