矽萬（上海）半導體科技有限公司
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新型無掩模光刻系統，型號: PM-ATE500，和 新型涂膠顯影系統，型號:?5000A，已于2020年9月被客戶預驗收并裝運到客戶。
2020.09.15
該系統能夠在500毫米X 500毫米基板上以500納米分辨率和256灰度創建3D圖案。感謝4PICO和SimaxAT的所有團隊成員。
該系統能夠在500毫米X 500毫米基板上以500納米分辨率和256灰度創建3D圖案。
