PicoMaster光刻機，可以在高對比度的正膠上加工出小于300納米分辨率的特征結構。

PicoMaster 系統支持頂側對準。在Simax特有的輕便型光學模組中集成有520萬像素的單色攝像頭，測量分辨率100納米。 最終的對準誤差不僅取決于測量分辨率，也取決于對準標記的質量、溫度的穩定性，以及系統的校正。